六氟化硫sf6
1.别名·英文名
sulfur hexafluoride、sulfur fluoride.
2.用途
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医疗,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。
六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定,化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解,在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性,可以用通用材料,不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好,绝缘性能为空气的2~3倍,而且气体压力越大,绝缘性能越增高。药物学性质不活泼,没有毒。微溶于水,在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为:5.4cm3sf4/kgh2o(sf6分压101.325kpa,25℃)。介电常数为:1002049(气体,101.325kpa,25℃)。在21.1℃时s.p.为2308kpa。
5.毒性
最高容许浓度:10ppm(12mg/m3)
六氟化硫在生理学上是不活泼的,在药理学上认为是惰性气体。但是当含有sf4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度sf6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。
6.安全防护
用气装置可用肥皂液检漏。sf6无腐蚀性,可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体,可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理,或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。
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纯氩:
纯度:≥99.99%,含氧量:≤10ppm,含氮量:≤50ppm,总碳量:≤10ppm,含水量:≤15ppm;
高纯氩:
纯度:≥99.999%,含氧量:≤1.5ppm,含氮量:≤50ppm,总碳量:≤4ppm,含水量:≤3ppm.
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